学校法人関西学院(以下、関西学院大学)と豊田通商株式会社(以下、豊田通商)は、SiC(炭化ケイ素)パワー半導体ウエハーに関する研究開発会社QureDA Research株式会社(キュレダリサーチ、以下、QureDA Research)を設立しました。
QureDA Researchは、関西学院大学と豊田通商が開発したパワー半導体材料SiCウエハーの欠陥を無害化する表面ナノ制御プロセス技術「Dynamic AGE-ing®(ダイナミックエージング)」*の“創る”と、ウエハーの加工工程において生じる結晶表面の歪みを可視化する計測技術の“視る”を軸に、SiCウエハーの高品質化、生産性向上、大口径化(8インチ)に向けた研究開発を行います。
*関西学院大学(金子忠昭工学部教授)が創出した技術。高温加熱により、ウエハー表面の原子配列を並び替える非接触式の加工技術を取り入れた、新たなウエハー製造法。従来の課題であったウエハー品質の向上と低コスト化を実現する。
1. 設立の背景と目的
SiCは、現在広く普及しているパワー半導体材料であるSi(シリコン)と比較し、電力ロスを大幅に低減でき、電力利用の効率化および冷却装置の小型化を可能にします。特に電動車(EV・HV・FCV)からのニーズが高く、国内外の自動車産業において急激な需要拡大が見込まれています。
しかしながらSiCウエハーはSiウエハーに比べて硬くて脆い材質であり、現在の生産技術では製造工程において多くのロスが生じており、材料物性の知見に基づく革新的技術が強く望まれていました。
関西学院大学と豊田通商は、これまで関西学院大学が25年に渡り培ったSiC関連技術と豊田通商の持つ企業ネットワークを活用し、ユーザー企業およびメーカーが広く参画できる開発プラットフォームを構築し、技術開発および実証を行ってきました。
この開発プラットフォームを活用し、Dynamic AGE-ing®技術を実用化するとともにSiCパワー半導体の工業化を加速することを目的として、このたび両者でQureDA Researchを設立することになりました。
2. 事業方針
QureDA Researchは、両社が構築した開発プラットフォームを発展させ、国内外の企業と来たる大口径化(8インチ)を見据えたパワー半導体SiCウエハーの新たな製造法を2025年に実用化することを目指すとともに、SiCウエハーの高品質化、生産性向上といった様々な市場課題に対する最適なソリューションや知的財産権のライセンスを提供します。関西学院大学はサイエンスに基づく研究開発、豊田通商は新たなバリューチェーンの創出においてQureDA Researchと連携し、エネルギーの高効率化とカーボンニュートラル実現に貢献します。
【新会社概要】
会社名:QureDA Research株式会社
所在地:兵庫県三田市学園上ケ原1番
設立:2023年3月16日
社員数:6名
出資母体:学校法人関西学院50%、豊田通商株式会社50%
資本金:4億5千万円(資本準備金:2億円)
代表者:代表取締役社長 瀬川恭平、代表取締役CTO 金子忠昭
［お問い合わせ先］
学校法人関西学院 広報室 Tel: 0798-54- 6873